(一)洁净室的新风量
在洁净室内，如果新风量不足，工作人员将有气闷、头晕等不舒适的症状发生。为了满足工作人员的卫生要求，保证工作效率，洁净室中要供给足量的新风。同时为了补偿洁净室中的工艺设备排风，洁净室也需要补充相应的新风。为了保证洁净室的洁净度免受邻室或外界的污染以及洁净室中的产品或产品生产过程的致敏性物质等对邻室的影响，洁净室需要维持一定的压差值，这也需要新风的补充。因此洁净室所需的新风量需满足以下三条原则:
1.满足工作人员卫生健康所需新风量
GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》对洁净室内无明显有害气体发生的一般情况规定，每人每小时新风量不得小于40m³。对特殊的洁净室按其专业标准的规定来确定。例如GB50333-2013《医院洁净手术部建筑技术规范》规定，I~IV级洁净手术室最小新风量为 15~20m/h·m，对于其他各种手术辅助用房如无菌敷料室、护士站、预麻醉室、手术室前室、洁净区走廊等采用不小于2次/h的换气次数。对于室内有有害气体发生的情况，应根据有害气体的允许浓度计算稀释有害气体所需的新风量。
2.补充各排风系统的排风所需新风量
各类洁净厂房中的生产过程，可能会产生有害物质，目前工程上一般是设置局部排风系统排除，或者设置全面排风系统来将室内有害物质浓度降低到允许程度，排放时须将含有有害物的气体处理到室外排放标准后方可排入大气。为了保持洁净室空气系统的平衡，应补充与排气量相同或略多于排风量的新风量。
3.维持静压差所需补充的新风量
为了避免洁净室与邻室或空间之间的相互污染，洁净室与邻室或空间之间要维持一定的静压差。如果静压差过大或围护结构的缝隙都会造成空气泄漏。当某一洁净室要求为正压时，应采用增加风量的方式来保证5~20Pa的静压差，或根据洁净室的用途及洁净度要求确定相应的静压差值。
根据以上三条原则，洁净室内的新风量应取下列二项中的最大值。
(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m。
(二)洁净室的送风量
洁净室的送风量不同于一般的空调房间送风量。因为经过滤处理送入洁净室内的清洁空气除了要承担保证室内温、湿度要求的送风量外，还要排除、稀释室内的污染物，以维持室内的空气洁净度。所以洁净室的送风量，应取下列三项送风量中的最大值。
(1)满足空气洁净度等级要求的送风量。
(2)根据热、湿负荷计算确定的送风量。
(3)洁净室内所需新风量计算取值的最大值。
三、洁净室的气流速度
在洁净室内，一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释;另一方面是加速排出室内浓度高的污染空气，所以洁净室内空气要有一定的流动速度，才能防止其他因素(如热流)的扰乱，但又不能太大，流速太大将使室内积尘飞扬，造成新的污染，而流速小却不能满足洁净度的要求。
为保证空气洁净度等级，GB50073-2013《洁净厂房设计规范》对洁净室的气流流型以及平均风速和换气次数有相应的规定范围。在实际工程应用中，可在确定送风量后按表中有关数据进行复核计算或按室内发尘量进行计算。
由于非单向流在洁净室断面上有气流的扰动和混合，所以平均风速已经没有实际意义，所以采用换气次数来间接确定气流速度，洁净度级别越高换气次数值越大。
